Вакуумные установки в Сумах
- Описание
Компания ПП "Сумы-Прибор" предлагает товар Вакуумные установки в Сумах. Для того, чтобы узнать цены и купить Вакуумные установки,
воспользуйтесь формой обратной связи, закажите обратный звонок, либо свяжитесь с менеджерами компании по телефону +38 (0542) 792729.
Установка предназначены для исследовательских работ по распылению. металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного. травления. Область применения – приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных. технологических операций по напылению. Технические данные. Масса установки не более 420 кг. Габаритные размеры установки: - стойка аналитическая 900мм х 610мм х 1620мм, - стойка электрическая 600мм х 600мм х 2160мм. Технические параметры. - Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме. не более 2×10-3Па. - Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в. районе подложки не менее 300оС. - Время нагрева до температуры 300оС не более 30 мин. - Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки. в диапазоне от 5 об/мин до 15 об/мин. - Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки). регулируется от 0 кВ до (4,0±0,2) кВ. - Максимальный ток пучка электронно-лучевого испарителя – 200 мA. - Максимальный ток блока питания накала катода электронно-лучевого. испарителя – 20 А. - Мощность блока питания магнетрона RF регулируется от 0 Вт до (500±50) Вт. - Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки). (1,2±0,1) кВ. - Ток блока питания магнетрона DC регулируется от 0 мА до (1000±50) мА. - Максимальный ионный ток устройства ионного травления/очистки – 100 мA. - Установка обеспечивают откачку рабочего объема от атмосферного. давления до давления 6,0×10-3Па за время не более 45 мин. - Установка имеют систему индикации давления в рабочем объеме в. диапазоне от 1,0×105Па до 1,0×10-4Па. - Диаметр мишени – от 42 до 104 мм. - Автоматическая система управления. Состав изделия. Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и. аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой. питающими, силовыми и сигнальными жгутами.В электрической стойке расположены: - блок распределительный; - блок питания высоковольтный; - блок питания магнетрона RF; - блок питания магнетрона DC; - блок управления; - блок питания турбомолекулярного насоса; - ноутбук. В аналитической стойке расположены: - вакуумная система; - рабочий объем; - внутри камерная оснастка; - турбомолекулярный насос; - система напуска газа в рабочий объем; - система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ. Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить. вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора. В рабочий объем устанавливаются следующие устройства : - механизм поворота; - осветитель; - устройство ионного травления/очистки (анод); - устройство осаждения и нагрева; - электронно-лучевой испаритель; - магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт). Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем. толщины КИТ.
